Las variables que intervienen en el proceso de esterilización son:
- Concentración del gas: es activo en concentraciones que van de 300 mg/l a 600 mg/l, dependiendo de la temperatura, humedad y tiempo de exposición aplicados.
- Temperatura: es activo en un rango de temperatura que varia desde 25º C a 55º C; debe tenerse en cuenta que temperaturas superiores a estas no aumentan la eficacia del método.
- Humedad: la Humedad relativa (HR) óptima para esterilizar con óxido de etileno (OE) entre el 30% y el 50%; con valores superiores de HR la actividad antibacteriana de este gas disminuye pues el OE se polimeriza con agua y pierde su actividad y con HR menores a este valor la actividad también disminuye pues no existe una buena humidificación en torno al microorganismo y este se hace resistente a la penetración del OE.
- Tiempo de exposición: los tiempos varían de acuerdo al tipo y tamaño de la carga; de la concentración; al tipo de envoltorio; a la temperatura; a la humedad y a la población microbiana inicial.
Para efectuar una esterilización efectiva debe existir una adecuada relación entre las variables antes mencionadas; la alteración de cualquiera de estas puede afectar las otras y modificar el proceso de esterilización.
Otro factor a tener en cuenta, una vez concluido el proceso de esterilización propiamente dicho, es el tiempo de aireación ó ventilación del material esterilizado. Este tiempo puede variar de acuerdo al tipo de material esterilizado, al tipo de envoltorio y a las características del equipo.